迎5G时代,北方华创助力MEMS产业新发展

??10月23日-25日,首届中国MEMS制造大会在苏州金鸡湖会议中心成功举办。本次大会由中国半导体协会MEMS分会主办,是国内首次以MEMS制造产业?#27425;?#20027;题的行业大会,旨在整合产业资源,增强全产业联动,进一步推动MEMS产业领域的新发展。北方华创微电子在大会上发表了题为《5G芯片的刻蚀需求及北方华创的解决方案》的演讲,重点介绍了北方华创在5G相关MEMS制造领域的最新技术进展。

??5G通信技术的开放性架构特点能够提供互联万物的网络基础,并兼备大容量数据传输能力。5G的推广应用必将推动IOT、汽车电子、机器人、VR/AR等生态领域的进一步发展和成熟。MEMS器件作为万物互联不可或缺的“神经末梢”,将迎来新的发展机遇和市场空间。5G对于高频器件的需求,也推动了高频GaN RF芯片、高频GaN Power芯片、SiC Power芯片以及GaAs Sensors等化合物芯片产业链的初步形成。



??北方华创多年来精耕MEMS领域,攻关前沿半导体技术,能够为5G网络建设提供多样化的国产装备及工艺解决方案。NAURA HSE系列刻蚀设备针对MEMS硅刻蚀工艺研发,已通过多年量产验证,性能稳定;GSE C200刻蚀设备针对GaN/GaAs/IR红外传感等III-V和II-VI材料研发,刻蚀材料范围广,兼具低速低损伤的原子层(ALE)刻蚀能力;GDE C200专为SiC背部通孔刻蚀、SiC栅槽刻蚀设计,工艺兼容性良好,能够完全满足器件制程要求。

5G时代开启,万物智联来临,包括MEMS在内的半导体产业将迎来巨大的机遇。北方华创愿与业界同?#22987;?#24378;合作,携手共迎5G时代,带给产业无限可能。

相关文章