中科院上海硅酸盐研究所碳化硅晶体项目部研制成功多款器件并完成应用验证

  据中科院上海硅酸盐所官方消息,近期,中国科学院上海硅酸盐研究所碳化硅晶体项目部在开展碳化硅晶锭制备和晶圆片加工的同时,与相关应用单位紧密合作,?#20013;?#24320;展碳化硅基光导开关原理研究和器件制备实验,研制成功多款器件并完成了应用验证。

  


  据介绍,进一步降低器件导通电阻是碳化硅基光导开关实现规模应用的技术关键,器件导通电阻与基底材料的结晶质量、电极的结构设计、材料选取及其制作工艺等诸多要素密切相关。

  为检测器件接近真实应用条件的导通电阻,该项目团队2019年开发?#21496;?#30830;测量碳化硅单晶基光导开关纳秒量级瞬态光电导的新方法,在此基础上,实现了不改变器件结构、仅改变光源参数连续调控碳化硅单晶基光导开关导通电阻。相关研究结果已发表在IEEE Electron Device Letters刊物上。值得注意的是,这是该刊物首次刊登关于碳化硅单晶基光导开关的研究论文。

  此外,以上研究还得到国家自然科学基金、国家重点研发计划和中国科学院等有关项目的支持。


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